教授,博導(dǎo),國家特聘專家。先后于中國科技大學(xué),中科院半導(dǎo)體研究所和美國德克薩斯大學(xué)奧斯汀分校獲得學(xué)士、碩士和博士學(xué)位。2009年回國后任職于中國科學(xué)院微電子研究所?,F(xiàn)任北方工業(yè)大學(xué)高精尖創(chuàng)新研究院院長。
在微電子領(lǐng)域有超過30多年的工作經(jīng)歷。曾任職于國際著名半導(dǎo)體公司英飛凌(Infineon),參與和負(fù)責(zé)了與IBM, 韓國三星,日本東芝, Globalfoundries, STMicroelectronics, 臺灣聯(lián)華電子等公司的聯(lián)合研發(fā)項目。在國內(nèi)首次成功開發(fā)出后高K后金屬柵的HKMG關(guān)鍵工藝模塊,研制的針對22納米技術(shù)代的CMOS器件的各項技術(shù)參數(shù)達(dá)到國際先進(jìn)水平。其成果已被新華網(wǎng)和EE TIMES等國內(nèi)外新聞媒體做了報道。主持參與了多項國內(nèi)外重要科研項目,承擔(dān)了2項國家重大科技專項課題,獲得40余項美國授權(quán)發(fā)明專利,50余項中國授權(quán)發(fā)明專利,發(fā)表學(xué)術(shù)論文超過60篇。主持若干項國家和北京市自然科學(xué)基金面上課題。先后獲得中國科學(xué)院2014年度杰出科技成就獎(每年10項)和北京市2016年度科學(xué)技術(shù)獎一等獎。
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